芯源微宗润福17年专“芯”致志 打造世界级中国半导体装备公司

从智能化生产线到消费电子，从智能汽车到最精妙的微型AI杀人蜂（无人机），集成电路（即芯片），是这背后的关键和核心。如果把集成电路产业比作皇冠，半导体装备就是这皇冠上的明珠，是核心中的核心、基础中的基础。

明珠夺目，谁人不爱？17年前，沈阳浑河南岸，一片荒芜之中，沈阳芯源先进半导体技术有限公司的新厂区掀起了第一锹土。这一锹土，播下了明珠的种子，也掘开了东北老工业基地奔向新经济的一个出口，中国半导体装备产业的一颗新星——芯源微，就此启明。

12月16日，芯源微将正式登陆科创板。在此前夕，这颗半导体新星的创建者、董事长宗润福接受了上证报记者的专访。他给记者讲述了他和团队专“芯”故事，传奇之中，散发着一个中国半导体专家的家国情怀：“我有一个梦想，打造一家世界级的中国半导体装备公司。”

做了一辈子科研的董事长

严谨的用词、清晰的思路、翔实的数据，无不显示出宗润福对半导体装备产业的了如指掌。交流下来，记者深切地感受到，他不仅是企业董事长，更是一位科学家。

事实上，宗润福确实是学者型掌门人，是“学而优则创”的典型。

翻看宗润福的简历，科研，已然融入他的血脉，成为他生命中最重要的一部分。1988年于哈尔滨工业大学工业自动化专业研究生毕业后，宗润福就到了中科院沈阳自动化研究所工作。刚到自动化所，宗润福参与了重点工程鞍钢线材课题组。该项目结束不久，宗润福就挑起大梁，负责青岛钢厂技术改造项目，大获成功，不仅获得了钢厂好评，也把自己炼成了“真钢”。

此后，在中科院沈阳自动化研究所这个舞台上，他一步一个脚印，成为了自动化领域的专家。1997年，宗润福就被破格提拔为自动化所研究员，享受国务院特殊津贴，历任科技处长等职，曾获中科院科技进步一等奖等多项奖励。

2000年左右，中国集成电路产业开启了一个发展的小高潮，集成电路设计产业开始小荷露出尖尖角，中芯国际起航。彼时，有识之士敏锐地意识到，作为产业的基础，中国半导体装备产业更是亟待发展。

作为最精密的制造业，制造集成电路就犹如在原子级的世界里刻画纵横交错的“电路”高速公路，需要精确到微米级、纳米级的“刻刀”，还要稳稳的雕刻工艺，这就是半导体装备的奥妙——集合了机械、电力、光学、力学等众多学科之精华。作为机械领域的“大拿”，宗润福敏锐地察觉，自己“产业报国”梦想之路打开了。

回忆这段经历，宗润福十分感恩沈阳自动化所：“1988年来所时，我才二三十岁，人生最美好的年华，生命力创造力最旺盛最活跃的时期，感恩所里的培养和这个舞台，让我得以挥洒才智、绽放青春！”

获台积电认可 破局涂胶显影设备

“2016年，芯源微开始对台积电批量供货，这是公司发展的一个里程碑式节点。”提到给台积电供货，宗润福颇为骄傲。台积电是全球最先进的芯片制造企业，芯源微的设备则是用在台积电最先进的智能手机芯片封装产品线上。“通过台积电的验证，充分显示了我们的技术和产品竞争力。”

时钟拨回到2002年。瞄准集成电路制造最核心的“光刻显影”领域，中科院沈阳自动化研究所决定成立一家光刻涂胶显影技术公司——沈阳芯源先进半导体技术有限公司，宗润福被任命为公司的负责人。

“如果把集成电路产业比作皇冠，集成电路装备就是这皇冠上的明珠，是核心中的核心。”回顾研发的难度，宗润福这样形容。在当时，像光刻工序涂胶显影这类高端设备市场，几乎是完全掌握在日本东京电子 （TEL）、日本迪恩士（DNS）、德国苏斯微（SUSS）等巨头的手里。

“如果仅仅是工艺、技术的难题还好解决，最困难的是产业链和供应链问题。”宗润福现在回想，依然感慨。2002年时候，我国半导体产业还比较落后，芯片生产线用的几乎全部是境外设备。更让宗润福头疼的，供应链体系也微乎其微，芯源微需要的核心部件和精密加工件全部需要进口。多重掣肘下，研发难度可想而知。

没有条件创造条件，没有技术就自己摸索。在宗润福的带领下，芯源微开始了艰苦卓绝的科研历程。通过承担两项“02重大专项”项目，芯源微获得了难得的“练兵”机会，直接进入了最先进制程设备的研发。

东北寒暑交替，季节分明，窗外的树叶从绿到黄，轮回了17个春秋。宗润福一个猛子扎到半导体装备领域，这一干就是17年，也给中国半导体装备产业打出了一片新天地，填补了细分领域的国内空白。

“芯源微的设备用在高端晶圆级封装领域，主要面向智能手机、可穿戴、笔记本等领域。”宗润福告诉记者，这个领域技术迭代快，芯源微每三年就推出一代新设备来满足客户需求；现在，长电科技、华天科技、通富微电等封装巨头都是芯源微的忠实客户。

芯源微在“奔跑”的过程中遇到了LED市场大爆发。将半导体级技术应用于LED芯片涂胶显影领域，芯源微的设备在LED领域开启“降维打击”，实现国产替代，给华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等下游厂商提供了更具性价比的装备。

记者了解到，在实现国产替代过程中，芯源微并不是靠低价取胜，其产品与进口产品的价格不相上下。更为重要的是，得益于先进的技术和扎实的工艺，几经产品迭代，在行业产品价格大幅下降近三成的情况下，芯源微的毛利率顽强保持不变。

牵手华力 坚守为国“谋”芯初衷

“在前道晶圆加工领域，我们的涂胶显影设备已经通过了华力28nm生产线的验证，也正在长江存储进行验证。”提及最新的进展，宗润福非常开心。

在LED、光伏市场大获成功，宗润福并没有迷失在营收利润中，他依然坚守“为国家发展半导体装备”的初心，带领芯源微，继续向集成电路前道晶圆加工领域进军，在半导体装备产业最高地跋涉。

“前道晶圆制造用设备，不仅市场规模更大，所要求的技术也更高，更是被‘夹脖子’的关键领域。”宗润福透露，未来，除了扩大生产规模外，芯源微将继续围绕光刻机技术的进步，聚焦集成电路前道工艺，做高端晶圆处理设备，比如单片清洗机、单片湿法刻蚀机等。据悉，芯源微用于前道晶圆制造领域的清洗机，已经在国内头部晶圆厂实现了小批量出货。

在业内人士看来，芯源微在集成电路前道市场将大有可为。据SEMI数据，2018年全球半导体设备销售额达到645亿美元，预计2020年仍会有20.7%的增长，达到719亿美元。

更可喜的是，全球集成电路产业持续向中国市场转移。SEMI统计，2018年我国半导体专用设备销售规模达到128亿美元，成为全球第二大市场；预计到2020年将超170亿美元。

常言道，火车跑得快，全靠车头带。但宗润福强调，火车车厢与火车头的协同更为重要。他谦虚地表示，芯源微发展到今天，是芯源人努力的成果，与芯源文化密不可分。“有高度、有深度、有硬度、有温度，对胜利负责，‘四度’让芯源人善于团队合作、不怕输、遇到困难迎头而上。”

芯源微现在算成功了吗？“在半导体任何一个细分领域，你只有做到全球前两名才能算成功，第三名都只能勉强活着。”宗润福可没有满足于中国市场的“风景独好”，他一开始的目标就是做全球最领先的半导体装备公司，他时刻都在准备着参与国际竞争。“只要我们在国内成熟了，就会快速开启向全球冲刺。”

“家国情怀”深深烙入宗润福的灵魂。于己，他决定一辈子只做一件事，专注在自己喜欢的科研；于国，他勇于担当，在高端半导体装备道路上攻坚克难，填补国内空白；于家，他感恩这片黑土地的滋养，将其自主研发的首台国产高产能前道涂胶设备命名为“奉天一号”。