公告信息: | |||
采购项目名称 | 磁性智能材料与芯片精密制备表征系统采购项目 | ||
品目 |
货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 |
||
采购单位 | 中国科学院物理研究所 | ||
行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2019年05月29日 11:58 |
获取招标文件时间 | 2019年05月29日 14:00 至 2019年06月06日 17:00 | ||
招标文件售价 | ¥200 | ||
获取招标文件的地点 | 中招国际招标有限公司408室(北京市海淀区皂君庙14号院9号楼) | ||
开标时间 | 2019年06月19日 09:30 | ||
开标地点 | 北京市海淀区皂君庙14号院9号楼中招国际招标有限公司二楼第五会议室。 | ||
预算金额 | ¥540.100000万元(人民币) | ||
联系人及联系方式: | |||
项目联系人 | 徐润斌 曲志鸣 刘伟华 | ||
项目联系电话 | 010-62108155 62108149 82467936 | ||
采购单位 | 中国科学院物理研究所 | ||
采购单位地址 | 北京中关村南三街8号 | ||
采购单位联系方式 | 张婷婷 010-82649363 | ||
代理机构名称 | 中招国际招标有限公司 | ||
代理机构地址 | 北京市海淀区皂君庙14号院9号楼 | ||
代理机构联系方式 | 徐润斌 曲志鸣 010-62108155 62108149 | ||
附件: | |||
附件1 | 网上售标特别告知.docx | ||
附件2 | TC19084RD招标公告原文.docx |
包号 | 货物名称 |
数量 (台/套) |
简要规格描述 | 是否允许采购进口产品 | 采购预算(万元) |
1 | 多探针电学原位测试 | 1 |
*3.1.1 配置原位4探针电学测试机械手系统,可集成安装在在扫描电子显微镜或者聚焦离子束双束系统真空样品仓内,也可以实现在大气环境下与光学显微镜配合使用,能够实现观察样品的同时对样品进行原位电学性能测试工作; *3.2.1 四探针集成负载系统整体尺寸:直径≤100mm,高度≤10mm,方便与测试主机系统兼容; *3.3.1配置不少于三轴的压电陶瓷驱动超高精度微位移台,微位移台最大移动范围X轴≥9mm,Y轴≥9mm,Z轴≥0.7mm,移动精度X轴优于0.5nm,Y轴优于0.5nm,Z轴优于5nm;探针可在三个轴向移动,最大移动范围X轴≥9mm,Y轴≥5mm,Z轴≥90°; |
是 | 86.416 |
2 | 零磁场离子束刻蚀系统 | 1 |
*3.1.2 离子枪分辨率参数优于3.0nm@30kV(不少于1000点的多边统计法条件下),最大离子束束流不小于100nA;离子束加工过程中,配合电子枪和实现高分辨边切边看功能,此工作状态下低电压成像分辨率优于1.8nm@1kV(标准模式)。 *3.1.8 离子束加工过程中可实现加工环境无磁场的工作模式,无论在任何放大倍率和加速电压条件下,离子束都可以与配合高分辨成像观察的电子束同时开启,实现边切边看功能。 *3.1.9 离子枪与观察用电子枪之间的物理安装夹角≤54°,离子束安装腔室内部水平面上任何方向上的直径尺寸不小于330mm,方便后续扩展样品仓内电学原位附件 |
是 | 310.312 |
3 | 自旋分析磁畴显微镜系统 | 1 |
*3.1.1 最优工作距离条件下二次电子分辨率: ≤0.7nm@15KV,≤1.4nm@1kV (标准模式,非减速模式);工作距离5mm时标准模式条件下低电压分辨率参数≤1.8nm@1kV;分析模式下分辨率≤2.3nm@20kV,10nA(WD=5mm条件下); *3.1.4电子枪最低加速电压和着陆电压≤20V(非样品台减速模式),最高加速电压和着陆电压≥30kV,加速电压调节步进≤10V,连续可调; *3.1.8物镜极靴为静电透镜包裹电磁透镜的复合物镜模式,可实现无漏磁设计,能够近距离(WD<3mm)高分辨观察磁性样品,可实现至少微米量级的磁畴观察; |
是 | 143.372 |